CIF實驗室型等離子清洗機(jī)

簡要描述：CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設(shè)備，改變傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計理念。CIF實驗室型等離子清洗機(jī)具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積，使用成本低，性價比高，處理快速高效，特別適合于大學(xué)，科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。

產(chǎn)品型號：CPC-G/Plus
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-10-25
訪問量：2428

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CIF材料表面處理儀器

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詳細(xì)介紹

品牌	CIF	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,地礦,能源,交通

產(chǎn)品特點：

◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆ PLC 工控機(jī)控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆ 石英真空艙，真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。

◆ 采用質(zhì)量流量計，實現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制，改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。

◆ HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆ 60 度傾角操作界面設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作方便，界面友好。

◆ 頂置真空艙，上開蓋設(shè)計，下壓式鉸鏈開關(guān)方式，開關(guān)蓋方便。

◆ CIF實驗室型等離子清洗機(jī)采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

◆ 上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作更方便。

◆ 有效清洗面積大，可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆ 安全保護(hù)，艙門打開，自動關(guān)閉電源。

CIF實驗室型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

型號	CPC-G	CPC-Gplus
射頻電源	40KHz	13.56MHz
射頻功率	0-600W	0-150W
匹配器	自動匹配
激發(fā)方式	電容式
氣體控制	單路 MFC（可選兩路）
艙體尺寸	H100xΦ269mm
艙體容積	5.6L
艙體材質(zhì)	石英玻璃
有效處理尺寸	Φ269mm 圓盤
時間設(shè)定	9999 秒
真空泵	抽速 4m3/h
氣體穩(wěn)定時間	1 分鐘
真空度	100pa 以內(nèi)
電源	AC220V 50/60Hz 752/302W
產(chǎn)品尺寸	L425xW480xH445mm
包裝尺寸	L550xW630xH700mm
整機(jī)重量	30kg

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